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                                      您好,歡迎光臨成都南光機器有限公司 English / 簡體中文
                                      產品展示
                                      F型渦輪分子泵
                                      • 用途及特點
                                      • 規格參數
                                        產品用途:Product Applications
                                         
                                        ●渦輪分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。
                                         
                                        主要應用領域:Main applications:
                                         
                                        ●表面物理和分析儀器
                                        ●等離子體物理,空間研究
                                        ●核聚變裝置
                                        ●原子束分子束系統,粒子加速器
                                        ●真空鍍膜
                                        ●真空冶煉
                                        ●半導體和光學器件制造

                                        產品特點:Product Features
                                         
                                        ●體積小,安裝和使用方便
                                        ●理想的動平衡,震動和噪音小
                                        ●壓力在10-1~10-8pa范圍內有恒定的抽速
                                        ●陶瓷軸承使用壽命長
                                        F型渦輪分子泵
                                        Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
                                        技術參數Technical specifications:
                                        型號 
                                        Model
                                        FC-150/450 FG-150/450 FC-250/1400 FG-250/1400 F-400B/3500
                                        進氣口法蘭 
                                        Inlet flange  (mm)
                                        DN160CF DN160LF DN250CF DN250LF DN400LF
                                        出氣口法蘭 
                                        Oulet flange  (mm)
                                        DN40KF DN63LF DN100LF
                                        抽氣速度  
                                        Pumping speed  (L/S)
                                        450 1400 3500
                                        極限壓力
                                        Ultimate pressure
                                        不烘烤
                                        Without baking  (Pa)
                                        6×10-6 6×10-6 6×10-6
                                        壓縮比
                                        Compression ratio
                                        對N2 108 108 108
                                        對H2 102 102 102
                                        轉速RPM   (r/min) 24000 24000 14100
                                        起動時間  
                                        Start-up time <(Min)
                                        5 10 20
                                        前級壓力  
                                        Fore pressure <(Pa)
                                        10 10 10
                                        建議采用的前級泵
                                        Recommended backing pump  (L/s)
                                        8 15 30
                                        冷卻水溫度
                                        Cooling water temperature <(℃)
                                        ≤25 ≤25 ≤25
                                        冷卻水壓力
                                        Cooling water pressure (Mpa)
                                        0.196 0.196 0.196
                                        泵體烘烤溫度
                                        Temperature of baking <(℃)
                                        120 120 120
                                        重量  
                                        Weight(Kg)
                                        35 70 125
                                         

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